ウェーハ欠陥分類
既知欠陥の分類と、未知欠陥の検出を両立する。
欠陥種類ごとの画像数に偏りがあり、同じ種類でも見え方が大きく異なるSEM画像を対象に、既知欠陥の分類と未知異常の検出に取り組みました。少量データで安定した判定を行うことが技術課題でした。
単一の分類モデルにすべてを任せず、正常状態との差から異常領域を抽出し、領域の形状・大きさを分析したうえで、欠陥の性質に応じて分類する段階処理を実装しました。
既知の種類へ無理に割り当てず、分類に十分に当てはまらない異常は確認対象として提示しました。この案件の評価データでは分類精度96%を確認しています。
